前段时间,有媒体报道称,英特尔已经拿到了ASML最新的2nm芯片EUV光刻机。
这种EUV光刻机型号叫做EXE:5200,和之前的EUV光刻机相比,最大变化是数值孔径NA,从低数值0.33,变成了现在的0.55。
外界称这种新的EUV光刻机是High-NA系统,之前的称之为Low-NA系统。
ASML之前就表示过,当NA提升到0.55之后, 基本无法现提升了,所以ASML认为这种光刻机,可能是最后一代EUV光刻机,未来能不能提升,ASML自己也没有信心了。
这种光刻机,能够用于2nm及以下芯片的制造,因为NA更高,分辨率就更高,工艺制程就能更低,据称最低可以实现到1nm以下芯片的制造。
这种NA=0.55的光刻机,重150吨(15万公斤),运输的时候,需要250个集装箱盒子,同时在拆开运到目的地之后,需要250个工人,安装调试6个月(180天)之久,才能够全部安装完成。
目前台积电、三星两家已经实现了3nm工艺,按照规划,这两家晶圆厂,将会在2025年实现2nm,而intel则表示将在2024年实现2nm工艺。
所以不用怀疑,这种新一代的EUV光刻机,一定会再次遭到几大晶圆厂的疯抢,因为大家都想在2nm时候,占据先机,抢夺更多的产能,成为晶圆制造的老大。
所以近日,ASML表示称,自己已经收到几大客户关于新EUV光刻机的订单,数量大约是20个左右。而未来它要争取能够每年生产20个这样的光刻系统。
而这种光刻机,一台价格大约在3.8亿美元,20台就是76亿美元,算下来就是540亿元人民币。而上一代EUV光刻机的价格只有1.8亿美元左右。
和上一代光刻机相比,每台高出2亿美元,20台就是40亿美元,相当于290亿元,ASML真的是大赚特赚了,因为新一代的成本,肯定不会提升100%吧。
在2017年的时候,美国就已经明确禁止ASML将EUV光刻机卖到中国大陆来,哪怕是最古老的EUV光刻机,都不能卖给中国大陆,所以ASML技术再先进,我们也得依赖自己,独立搞出来才行……