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格科半导体成功引入ASML先进ArF光刻机
2022-03-28 来源:网络整理
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关键词:格科半导体ArF光刻机

3月27日,据格科微官微披露,3月24日,格科半导体再次迎来了建厂重要标志性时刻,整套生产线中的最关键设备——ASML先进ArF光刻机成功搬入。


目前,格科微“12英寸CIS集成电路特色工艺研发与产业化项目”推进迅速。厂房和洁净车间建设已经基本完成,并于2022年2月16日开始主设备的搬入安装。



2022年3月24日上午10:18,在严格遵守防疫政策并做好疫情防控措施的情况下,格科微顺利举办ASML先进ArF光刻机搬入仪式。格科半导体SVP李朝勇、各部门总监、光刻团队及厂务团队出席仪式,共同见证了公司这一里程碑式的重要时刻。



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