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关键词:上海新阳1400光刻机安装调试
4月12日,上海新阳在投资者互动平台表示,公司与中芯北方搭建的1400光刻机安装调试基本完毕。
另外,上海新阳表示,公司研发费用投入超2亿元,且主要系光刻胶项目研发和参与的国家重大科技项目研发费用。其称,公司半导体产品销售收入不断增长,都是公司长期以来关心关注研发和项目推进取得的回报。
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