近日，浙江生波智能装备有限公司（以下简称“生波智能”）获亿元级A轮融资，由国芯创投领投，派诺资本及产业资方跟投。

消息显示，本轮融资将用于半导体先进工艺制程设备的研发、安徽滁州明光“半导体大型真空镀膜设备项目”制造基地建设、扩充企业产能等，并进一步保持及增强“生波智能”在半导体及光电显示行业的技术领先优势。

据悉，生波智能是一家半导体真空装备制造商，该公司在等离子体源、PECVD源、PVD源等多种最核心源部件拥有自主研发、制造能力，立足于中高端设备的研发及专项设备的定制。其产品应用于半导体、平板显示、航天科技、深空探测、新材料封装等多个领域。