中商情报网讯：薄膜沉积设备通常用于在基底上沉积导体、绝缘体或者半导体等材料膜层，使之具备一定的特殊性能，广泛应用于光伏、半导体等领域的生产制造环节。

薄膜沉积设备市场规模

数据显示，全球半导体薄膜沉积设备市场规模从2017年的125亿美元扩大至2020年的172亿美元，年复合增长率为11.2%。预计至2022年市场规模可达220亿美元。

数据来源：MaximizeMarketResearch、中商产业研究院整理

半导体薄膜沉积设备的细分市场占比

从半导体薄膜沉积设备的细分市场上来看，2020年全球半导体薄膜沉积设备中PECVD、PVD、ALD设备占比分别为34%、21%和13%。

数据来源：中商产业研究院整理

薄膜沉积设备行业竞争格局

半导体薄膜沉积设备行业基本由AMAT、ASM、Lam、TEL等国际巨头垄断。近年来随着国家对半导体产业的持续投入及部分民营企业的兴起，我国半导体制造体系和产业生态得以建立和完善。半导体薄膜沉积设备的国产化率虽然由2016年的5%提升至2020年的8%，但总体占比尤其是中高端产品占比较低。国内主要半导体薄膜沉积设备企业包括北方华创、中微公司、拓荆科技等。

我国半导体设备经过最近几年快速发展，在部分领域已有一定的进步，但整体国产设备特别在核心设备化上的国产化率仍然较低。

数据来源：中商产业研究院整理