中商情报网讯：半导体质量控制设备可分为检测设备和量测设备。检测和量测环节贯穿集成电路制造全过程，是保证芯片生产良品率非常关键的环节。随着制程越来越先进、工艺环节不断增加，行业发展对工艺控制水平提出了更高的要求，制造过程中检测设备与量测设备的需求量将倍增。

全球半导体检测和量测设备市场规模高速增长，根据 VLSI Research 的统计，2016 年至 2020 年全球半导体检测与量测设备市场规模的年均复合增长率为12.6%，其中 2020 年全球市场规模达到 76.5 亿美元，同比增长 20.1%。预计2022年全球半导体检测与量测设备市场规模将超90亿美元。

数据来源：VLSI Research、QY Research、中商产业研究院整理

从产品结构来看，检测设备占比为 62.6%，包括无图形晶圆缺陷检测设备、图形晶圆缺陷检测设备、掩膜检测设备等；量测设备占比为 33.5%，包括三维形貌量测设备、薄膜膜厚量测设备（晶圆介质薄膜量测设备）、套刻精度量测设备、关键尺寸量测设备、掩膜量测设备等。

数据来源：VLSI Research、QY Research、中商产业研究院整理

全球半导体检测和量测设备市场也呈现国外设备企业垄断的格局，全球范围内主要检测和量测设备企业包括科磊半导体、应用材料、日立等。科磊半导体一家独大，根据 VLSI Research 的统计，其在检测与量测设备的合计市场份额占比为 50.8%，全球前五大公司合计市场份额占比超过了 82.4%，均来自美国和日本，市场集中度较高。

数据来源：VLSI Research、QY Research、中商产业研究院整理