但光刻机也是多种多样的,可以按工艺进行划分。7nm及以下的芯片,需要EUV光刻机,而7nm-45nm,需要ArFi光刻机,45-65nm需要ArF Dry,而65nm-180nm需要KrF光刻机,还有i-line光刻机,用于180nm以上的芯片。
这些光刻机中,先进的EUV光刻机,只有ASML能够生产。甚至用于65nm芯片以下的Arf Dry光刻机、ArFi光刻机,也是ASML一家独大,占了90%以上的份额。
至于非先进的其它的光刻机,比如KrF、i-line光刻机等,则有尼康、佳能、上海微电子能够生产,ASML就并不在意了。
所以要卡住某一家企业甚至某一个国家的芯片产业,只要卡住ASML就行了,只要ASML不卖光刻机给对方,7nm以下的芯片肯定无法制造,甚至65nm及以下的芯片,都会大受影响。
这不,为了打压中国芯,美国就对ASML下达了禁令,禁止EUV光刻机出口到中国大陆,后来更是表示,用于14nm以下芯片制造的光刻机,也不能出口到中国大陆。
这当然对ASML造成了巨的影响,因为中国大陆曾一度是ASML最大的营收来源。
更重要的是,中国大陆在大力发展芯片产业,需要大量的光刻机,如果ASML不卖光刻机到中国大陆,这个市场就被别的企业拿走了。
所以近日,有媒体报道称荷兰外贸与发展合作大臣施赖纳马赫尔表示,在向中国出售芯片设备的问题上,荷兰将捍卫本国的经济利益,“荷兰不会一比一照搬美国的措施,我们会做出自己的评估”,而这个芯片设备,明显就是指光刻机。
事实上,之前ASML的CEO也表示过,EUV光刻机暂时不能卖给中国大陆,但DUV光刻机是不受限制的,想卖就卖。而DUV光刻机包括ArFi光刻机、ArF Dry光刻机和KrF光刻机这三种。
而就当前的情况来看,ASML的DUV光刻机还是在出货,可见,欧盟其实也并不是那么的听美国的,毕竟这确实影响到了欧盟以及各企业的利益了。