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美国最担心的事情:日本的光刻机卖给中国,就能实现5nm工艺
2023-02-13 来源:互联网乱侃秀
2018

关键词:半导体光刻机芯片

众所周知,目前美国已经联合上日本、荷兰,一起对中国半导体产业进行围堵。

而据媒体的报道称,日本政府将在今年春季实施出口管制,以阻止先进半导体技术被用于军事用途,虽然没说针对中国,但谁都看得出来,就是针对中国。



事实上,美国之所以联合上日本,最担心的事情就是日本卖光刻机给中国,那中国的芯片工艺,可以达到5nm。


为何这么说?因为日本尼康的光刻机,其光刻分辨率目前确实能够达到5nm,也是ASML之后,全球第二家拥有浸润式光刻机的厂商。



目前光刻机已经发展到第五代了,也就是EUV光刻机,而在EUV之前,还有g-line、i-line、Krf、ArF。


至于g-line、i-line比较落后了,用于um级芯片的制造,很多厂商都有,就不多说了。


而像KrF、ArF也有一个说法,就是DUV光刻机,这里又分为干式光刻机、湿式光刻机(也称浸润式光刻机)。



其中浸润式光刻机,是采用193nm波长的光源,但是光刻时的介质为水,所以193nm光源,等效于143nm,所以这种光刻机,是能够制造7nm芯片的,甚至极限使用下,能达到5nm。目前除了ASML外,尼康也能够制造。


与ASML不同,尼康的光刻机,是采用的日本本土的技术,没有合作美国的技术或设备,所以不受美国长臂管辖,如果日本愿意,是可以出售这样的光刻机给中国的。


另外佳能在研发的NIL光刻机(纳米压印技术),据说也有望达到5nm精度,虽然还没有研发出来,但路线已确定,最近两到三年有望实现。



所以美国很担心这件事情的发生,一旦中国买到了这些光刻机,那就卡不住脖子了,所以就找上了日本,希望日本政府出面,禁售这些光刻机。


对日本而言,美国是大哥啊,大哥的话必须得听,所以自然就听话,尼康、佳能的先进光刻机,自然就不能卖给中国了。


但对于日本厂商而言,光刻机如果缺少了中国市场的支持,很难重新崛起,所以这个决定不好下,未来变数还很大。



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