中商情报网讯：半导体设备是整个半导体产业的重要支撑产业，从中长期来看相关半导体设备厂商有望深度受益于先进芯片制造设备出口管制政策加速收紧，半导体设备国产化率有望加速提升。

半导体设备市场规模

半导体设备是半导体产业的先导、基础产业，具有技术壁垒高、研发周期长、研发投入高、制造难度大、设备价值高、客户验证壁垒高等特点，是半导体产业中最难攻克却至关重要的一环。2022年中国半导体预计将继续增长，规模达到2745.15亿元。预计2023年中国大陆半导体市场规模将达3032亿元。

数据来源：SEMI、中商产业研究院整理

半导体设备零部件

1.核心环节

半导体零部件按照类型分，可以分为6类：分别为机械类、电气类、机电一体类、气体/液体/真空系统类、仪器仪表类、光学类。

资料来源：中商产业研究院整理

2.核心子系统

半导体设备的关键子系统主要分为8大类，可分为：气液流量控制系统、真空系统、制程诊断系统、光学系统、电源及气体反应系统、热管理系统、晶圆传送系统、集成系统，每个子系统亦由数量庞大的零部件组合而成。

资料来源：中商产业研究院整理