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ASML:EUV光刻机是奇迹,是人类制造的最复杂机器
2023-07-14 来源:只谈数码科技
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关键词:华为光刻机芯片

众所周知,目前的芯片流程中,光刻机是必不可少的设备之一,也是价值占比,工序占比最高的设备。


而目前能够制造前道光刻机(与后道光刻机对应,前道光刻机用于制造芯片,后道光刻机用于封测)的厂商,全球也没几家,也就只有ASML、日本的尼康、佳能,中国的上海微电子这么四家。



目前全球最先进的光刻机是ASML的EUV光刻机,且全球仅ASML一家能够生产,用于7nm及以下的芯片制造,一台售价超过1.5亿美元(超过10亿元人民币)。


最关键的是,并不是你有钱就能够买到,比如中国一直想买EUV光刻机,但美国不准荷兰卖给中国,导致目前中国的芯片技术,一直卡在14nm。


早在2020年,中芯国际的梁孟松就表示,7nm制程的研究工作,已经全部做好,5nm制程的最大难点,也在进行中,只等EUV光刻机的到来。



可见,中国是真正急需EUV光刻机,只要EUV一到位,只怕7nm工艺立马就能够突破,甚至5nm也不是不可能。


但EUV光刻机要突破,可就没这么容易了。目前光刻机已经是芯片系统的瓶颈,芯片产业的发展,就依赖于光刻机这个瓶颈的突破。


从ASML开始研究EUV光刻机,到最终生产出原型机,中间就花了13年时间。



而从原型机到最终量产,又花了近10年时间,可以说从研究到最终量产,ASML就花了近20年时间才完成。


阿斯麦公司技术副总裁的本肖普曾说,EUV光刻机几乎是一项奇迹般的人类成就,是人类制造过的最复杂的东西。


媒体一直报道称,一个完整的EUV光刻机有超过10万个复杂程度类似的组件,但事实上,一个组件本身,又可以拆分成众多的零件。



比如镭身器中,一共有457329个零件,如果将一台EUV拆解成不可再分的元件的话,其零件个数,超过千万个。


一个EUV光刻机的供应商就超过5000家,分布全球各地,其中荷兰只提供其中的15%不到,另外的85%全部是ASML从全球各地进口来的,然后再拼装到一起,最终拼装成一台EUV光刻机。


目前ASML的EUV光刻机可以制造小于3纳米结构的芯片,而人类红细胞的直径约为7000纳米。



而ASML的EUV光刻机镭射器,可以生产比太阳表面温度高40倍的等离子体,要实现这些技术,真的是ASML几十年的积累,并不是有技术突破就能够实现的。


而中国从21世纪初,就已经开始研发EUV光刻机,长春光电所、中科院、北理工、哈工大、华中科技等多个研究所和高校,均参与其中,但经过了20多年的研究,虽然小突破不断,但可以说还只是摸到门槛而已。


所以,要研发EUV光刻机,真的不容易,否则它也不会被认为是人类制造的最复杂的机器了。当然,正如网友所说,再复杂,也是人研究出来的,所以总有一天,我们肯定会研发出来的,只是需要时间。



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