按照荷兰的半导体禁令规则,从9月1日起,除了EUV光刻外,连高端的DUV光刻机,都要对中国限售了,除非ASML拿到许可证。
什么叫叫做高端DUV光刻机?普通的干式的ArF Dry光刻机,当然不算高端。浸润式光刻机,也就是ArFi才算是高端DUV光刻机。
而ArFi光刻机,目前ASML共有4种型号,从低到高,分别是NXT:1980Di、2000i、2050i、2100i。其中第一种也并不算高端型号,后面三种才算。
所以按照荷兰的规则,只有NXT:1980Di这一种才可以卖给中国,另外的三种是不能卖的。
不过,ASML马上就又发布了公告,称2023年内,除了EUV之外,所有的DUV光刻机,都可以卖给中国,哪怕最新的NXT:2100i这种最新型号。
为什么会这样呢?ASML表示,他之前拿到了许可证,而这个许可证在2023年内是有效的。
事实上,为何ASML着急表态呢?原因在于ASML实在不想失去中国这个大客户,所以想趁着最后这几个月,赶紧多卖一点高端的DUV光刻机,否则到了明年,谁来买它的DUV光刻机呢?
像三星、台积电、intel等厂商,也需要ASML的光刻机,但这些厂商,要的主要是EUV光刻机,DUV光刻机,需求没那么大。
DUV光刻机中,ArF Dry这种干式光刻机,用于130nm-65nm,而ArFi这种浸润式光刻机,主要用于65-7nm工艺,而中国大陆的晶圆厂,生产的主要就是这些工艺的芯片。
目前中国从ASML采购的光刻机中,以DUV为主,因为EUV也买不到,至于更落后一点的KrF、i线、G线等,中国自己能产,需求没那么大。
而据数据显示,2023年二季度,仅这一个季度中国从ASML进口的ArFi(浸润式)光刻机数量就达到了39台,全年预计超过100台。
所以一旦这些先进的DUV光刻机,无法卖到中国来,ASML损失非常大,所以也就有了ASML做好准备,先拿了许可证,可以在2023年内,继续卖任何DUV光刻机给中国了。
至于2024年,那就且过且看了,看看ASML会想什么办法了,如果无法可想,其营收肯定会大受影响,毕竟中国可是给ASML贡献了约20%的收入,更何况中国大规模发展芯片产业,对DUV光刻机需求非常大,所以ASML肯定是非常着急的。