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我们7nm芯片制造的“漏洞”,要被美国堵上了?
2023-10-20 来源:科技专家
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关键词:光刻机华为中芯国际

众所周知,前段时间华为麒麟9000S芯片的横空出世,让大家都认为,我们有了7nm芯片的制造能力。


因为按照外媒采用电子显微镜,对这颗芯片进行扫描并逆向分析后,得出其晶体管密度约为98MTr/mm2,也就是9800万个每平方毫米,与台积电的7nm工艺差不多。



我们没有EUV光刻机,那么这种等效于7nm的芯片,是如何造出来的?专业人士分析,采用浸润式光刻机,采用多重曝光的技术。


而浸润式光刻机,之前ASML是可以卖给我们的,ASML只有EUV不能卖给我们,所以我们可以利用浸润式光刻机,进行多重曝光,最终搞定7nm。



事实上,美国去年的芯片禁令,是限制任何14nm及以下工艺的设备卖到中国来的,所以严格的来讲,对美国而言,这种浸润式光刻机,其实算是一个“漏洞”了。


所以,当麒麟9000S横空出世之后,近日,美国终于再次出手,将这个“漏洞”堵住了。


按照近日再次升级的芯片禁令,针对光刻机,美国提出了更高的要求,针对193nm波长、分辨率小于40nm的光刻机,其DCO值不能小于2.4,而去年针对这种光刻机,DCO的值是不小于1.5。



而ASML目前在售的所有浸润式光刻机中,相对最落后的一款型号是NXT:1980Di,波长是193nm,分辨率是38nm,DCO值是1.6,介于1.5和2.4之间。


按照去年的禁令,DCO值是1.6大于1.5,所以是可以销售的。按照这次升级的禁令,DCO值小于2.4了,所以又是不能销售的,那么意味着ASML所有的浸润式光刻机,均无法卖到中国大陆来了。



很明显,美国这次就是想将所有浸润式光刻机都堵住,不留任何破绽,让我们想利用浸润式光刻机,采用多重曝光技术来生产7nm芯片都不行,从而阻止麒麟9000S这样的芯片出现。


不过,大家也都清楚,之前这种浸润式光刻机没有受限,所以国内肯定买了很多,这些光刻机后续可以继续使用,短时间之内肯定没太多问题的。


但是,由于禁令限制,一旦所有浸润式光刻机都受限之后,后续的维护、保养、更换备件都会受影响,所以最终还得自研,靠自己来突破才行。



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