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有点搞笑了,佳能5nm纳米压印技术,也离不开EUV光刻机
2023-10-27 来源:科技专家
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关键词: 佳能 ASML

众所周知,前段时间,佳能官宣自己的FPA-1200NZ2C光刻设备,可以出货了,这种光刻设备,采用的是NIL纳米压印技术,可以制造 5 nm 芯片。


一时之间,全网沸腾,大家都表示,这是绕开了ASML的EUV光刻机,能直接生产5nm芯片,是一个伟大的进步,ASML接下来估计要哭了。



毕竟之前所有的芯片制造,进入5nm时,必须使用EUV光刻机,而EUV只有ASML能够制造,所以ASML是高端光刻机的王者,现在佳能搅局,让大家不需要从ASML采购EUV光刻机,也能够生产芯片,当然对ASML影响最大。


且佳能还表示,这一代NIL纳米压印光刻机之后,佳能正在研究下一代,可以实现2nm的芯片制造,也不需要EUV光刻机。



当然,业界对这个技术也比较质疑,因为之前铠侠、SK海力等,与佳能合作过,搞过NIL纳米压印技术,还是在20多纳米的时候,但那时候良率低,效率也低,现在进入5nm,佳能搞定良率、效率等问题了么?


还有人质疑,有了NIL纳米压印光刻机后,EUV光刻机真的可以扔了么?


但我告诉大家一个事实,那就是你使用NIL纳米压印技术来制造5nm芯片时,其实还离不开EUV光刻机。



NIL纳米压印技术的原理,很简单,就像盖章一样,第一步先雕刻一个图章出来,下一步拿这个图章,直接印到硅晶圆上,就形成了电路图。


只要这个图章不磨损,就可以一直盖章盖下去,看起来确实简单很多,原理也简单。


但核心是这个图章,你必须制造出和设计出来的芯片一样大小,一样图案的图章,然后才能盖下去,如何制造这个图章,才是真正的核心问题。


盖章的过程示意


目前在NIL纳米压印技术生产线中,图章的制造,还是采用EUV光刻机来制造,用EUV光刻机来雕版,制造成需要的图章,然后再利用NIL纳米压印技术,拼命的往硅晶圆上盖章,制造成芯片。


可见,在这个技术之下,EUV光刻机依然绕不过去,只是可能需求量没那么大了,毕竟只需要制造前期的母版就行。


但要完全绕开EUV,似乎还不可行,并且这个NIL技术,可靠性怎么样,效率怎么样,良率怎么样,与其它半导体设备的配合又怎么样,还不清楚,所以大家别想着,有了这个NIL光刻机,EUV就不重要了,所以我们还是老老实实的,一步一步往前走,别想着绕道或偷懒,你觉得呢?



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