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中国最牛后道光刻机厂:拿下国内85%份额,ASML都不是对手
2023-11-20 来源:科技专家
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关键词:ASML芯片

估计很多人仅看了标题,就不会去看内容,然后就直接开始吐槽,为何我们就不能脚踏实地,这么喜欢吹牛呢?中国的光刻机有这么牛,何至于是现在这样?那美国怎么会限制光刻机的进口?


但我要说的是,你根本没看清标题,只是看到光刻机二字,就觉得不可能了。我标题中写的是后道光刻机。



芯片制造过程,分为前道和后道。


前道是将硅晶圆通过光刻要、刻蚀等工艺,变成加工后的硅晶圆,这个过程是前道工序,这里需要的光刻机叫做前道光刻机。


而前道光刻机,确实种类繁多,有i线、G线、KrF、ArF、ArFi、EUV等,这些种类都与工艺相关,比如ArF可以达到65nm,ArFi可以达到7nm,而EUV用于7nm以下。


这一块,ASML称王,一家拿下全球85%左右份额,而国内的水平确实差很多,上海微电子的光刻机,水平仅在90nm,市场也可以忽略。




但我说的是后道光刻机,后道是指将加工好后的硅晶圆,进行一片一片切割成Die,然后再将这些裸芯片,封装测试,最后形成一颗颗可以用于设备中的芯片过程。


在后道工序中,也需要光刻机,叫做后道光刻机,也可以称之为封装光刻机。


而在这一块,上海微电子就很厉害了,目前在全球市场,上海微电子拿下了37%的份额,而在国内,更是拿下了85%的份额,连ASML在国内都不是上海微电子的对手。



当然,与前道光刻机相比,后道光刻机确实简单一些,没那么复杂,但也是芯片制造过程中,不可或缺的一种设备。


所以,对于上海微电子,我们也应该佩服,虽然它在前道光刻机上不给力,但在后道光刻机上还是达到了全球最顶级的水平,也让我们减少了对国外设备的依赖。


目前上海微电子在前道光刻机上也在努力,说不定哪天突破到浸润式,也就是ArFi光刻机,那就很厉害了。



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