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深圳企业,18年仅造出15台机器,但可测量0.1nm芯片
2023-12-11 来源:科技专家
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关键词:半导体硅晶圆芯片

众所周知,测量仪器是所有行业中不可缺少的设备,半导体领域更是如此,比如硅晶圆的平整度、芯片的大小、光线的波长,各种设备的分辨率等等。


而有一家深圳企业,18年来,只造出了15台测量仪器,但这些测量仪器,可不简单,针对的都是工业需求中的测量难题,最高分辨率可达0.1nm,理论上最高可测量0.1nm的芯片。



这家深圳企业叫做深圳市中图仪器股份有限公司,近日还上了央视的新闻报道。


中图仪器成立于2005年,一直致力于全尺寸链精密测量仪器及设备的研发、生产和销售。


其生产出来的设备,用于基础计量,光学测量、微观尺寸测量、行业应用检测等等,其分辨率可从0.1nm到几百米。



这些设备,属于科研仪器一种,可以应用于光学测量,比如测量镜面平整不平整;可以用于半导体领域,比如看看制造出来的硅晶圆平整不平整,起伏有多高。


对硅晶圆而言,平整度是有要求的,一旦平整度不够高,是不能用于芯片制造的,否则良率会非常低。


还可以用于测量芯片的大小,平整度等,比如央视的新闻中,就是直接对晶圆表面的6.1nm显微测量,发现其高度差有6.1纳米,还需要切割才能使用。



目前国内的科研仪器,基本上是靠进口的,2022年数据,科研仪器的国产化率不到10%,其中高端科研仪器,国产化率更是接近于0。


测量仪器属于科研仪器中占比较高的一个品类,国产能够达到0.1nm这种全球顶级水平,自然是非常重要的。


就拿半导体设备市场而言,测量仪器一直就是核心设备,之前主要采用的是日本、美国的设备,但如今有了这种能分辨率达到0.1nm的测量仪器,估计可以实现国产替代了。



不过,大家也要注意的是,科研仪器很多都是配套的,这些仪器也是有生态的,单一的仪器突破,如果不能融入原来的生态中,要替代也是不容易的。


所以接下来期待其它国产仪器不断的突破,大家也形成一个完整的生态,对国外的仪器、设备等进行替代,才是真正的高枕无忧。



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