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三星研发“智能传感器系统”,用于提高半导体良率和产能
2023-12-26 来源: IT之家
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关键词:三星智能传感器半导体

12 月 26 日消息,根据韩媒 ETNews 报道,三星电子公司正在开发“智能传感器系统”,用于控制和管理半导体工艺。


图源:三星


注:提高半导体良率的关键点之一是,精确控制半导体生产过程中等离子体均匀性和密度,而“智能传感器系统”用于测量晶圆等离子均匀性,准确测量和管理蚀刻、沉积和清洗的工艺性能,有望提高半导体良率和产能。


三星现有的晶圆智能传感器大部分采购自美国等国外厂商,耗资数千万韩元。而近期对提高产量的需求不断飙升,倒逼三星转向自研,降低对外国传感器的依赖程度。


据了解,三星电子正在开发的智能传感器是超小型的,不会对现有设备空间产生重大影响,这意味着可以在提高空间利用率的同时提高产能。


据报道,三星电子计划逐步扩大智能传感器的开发和应用范围,其目的不仅限于等离子体,而是开发可用于各种半导体工艺的 SMART 传感器和系统。



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