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中国最先进的芯片设备:刻蚀机技术,已达3nm,试验2nm
2024-01-29 来源:科技专家
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关键词:半导体设备芯片光刻机

芯片的原材料是沙子,但把沙子变成芯片,要经过几千道工序,这中间还需要几百种材料,几百种设备,流程非常复杂,技术要求也非常高,供应链复杂度堪称全球第一。


复杂一点,其实也没什么,但问题是美国联手日本、荷兰,在半导体设备上卡我们脖子,不出口一些先进的芯片设备给我们,搞得我们在一些关键设备上,全部要突破,要自研才行。


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所以这几年,各种芯片设备传出了不断突破,替代国外产品的消息,那么问题来了,目前所有的国产半导体设备中,哪一种设备支持的芯片工艺最先进?能不能达到全球顶尖水平?


事实上,国产的半导体设备中,还真有这么一种设备,达到了全球顶尖水平,连台积电这样的企业,都从中国企业这里采购。


这种设备就是刻蚀机,和光刻机相比,名字相似,但干的事情却截然不同,但又必不可少。


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光刻机是将芯片电路图,通过光线投影到硅晶圆上。而刻蚀机,则是将硅晶圆上没有投影的部分,蚀刻掉,只保留有投影的部分,形成电路图。光刻机和刻蚀机,是相对应的。


国内能够生产光刻机的厂商,其实并不少,但比较出名的主要是中微半导体,由中国刻蚀机第一人尹志尧博士创办。


在创立中微半导体之前,尹志尧博士曾在英特尔、泛林、应用材料等企业均工作过,个人在半导体行业拥有86项美国专利和200多项各国专利,被誉为“硅谷最有成就的华人之一”。


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他于2004年,带着钱,以及一帮半导体领域的精英,回到上海创办企业,立志要要打破国外的垄断。


创办公司仅3年后的2007年,就推出了第一代国产刻蚀机,还采用了双工作台,比国外竞品效率还要高。


美国泛林集团坐不住了,一方面是在2009年起诉中微的蚀刻机侵害它的权利,另外一方面则是想办法偷学中微的技术。


后来中微没惯着它,起诉泛林侵犯中微商业秘密,双方你来我往,官司一打就是10多年,最后中微彻底胜诉,泛林侵犯中微商业秘密成立。


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而在打官司的过程中,中微的研发可一直在继续,刻蚀机也是不断进步,从28nm到10nm,再到5nm、3nm。


目前中微的刻蚀机,早就实现了3nm工艺,并且被台积电应用于实际3nm芯片生产之中,中微还表示,目前正在和客户一起试验2nm工艺的刻蚀机,后续也会用于下一代晶圆制造之中。


不过,正如前面所言,芯片制造,需要几百种设备,并且是遵循木桶理论,实际水平取决于最短的那一块短板,所以其它国产设备也加油吧,如果和国产刻蚀机一样,达到3nm,那还怕什么禁令?



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