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ASML的“末日狂欢”:EUV光刻机,难有下一代,未来没了
2024-02-22 来源:科技专家
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关键词:ASML芯片

2023年,是ASML狂欢的一年,这一年卖出了276亿欧元的光刻机,同比增长30%,而净利润为78亿欧元,同比增长43%,毛利率高达51.3%。


2023年这一年,ASML卖出了53台EUV光刻机,125台浸润式DUV光刻机,32台普通干式DUV光刻机,184台KrF光刻机,55台L-line光刻机,所有类型的光刻机,都比2022年销量多。


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而对于2024年,ASML不乐观表示预计和2023年差不多。


事实上,2024年,理应是ASML大量发展的一年,为何预计却不会再有什么增长呢?原因在于ASML的EUV光刻机,已经发展到极限,难有下一代了,前路已经被堵了。


目前ASML最大的营收来源,其实是靠EUV光刻机,2023年为例,53台EUV光刻机,每台1.8亿美元左右,这里就贡献了近100亿美元,三分之一啊。


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现在主要销售的EUV光刻机,是NA=0.33的光刻机,NA也称之为数值孔径,也称之为Low-NA系统,因为0.33是低数值孔径。


这种光刻机,能实现26nm的最小金属间距和25-30nm尖端到尖端的近似互连空间间距,比较理想的,是实现3nm的芯片制造。


而NA=0.55的光刻机,数值孔径变大了,称之为Higt-Na系统,可以实现16nm的最小金属间距,可实现2nm以下制程节点,甚至达到1nm。


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不过这种NA=0.55的光刻机,成本高昂,达到了3.8亿美元去了,相比上一代贵了一倍,同时ASML表示,目前产能还很差,一年也就只能生产不到10个出来,所以ASML并不是特别看好它,毕竟目前的0.33NA的光刻机,也能生产2nm芯片。


而制造3nm的芯片厂,才2家,大家原有的EUV光刻机不会淘汰掉,现在NA=0.55的光刻机,肯定销量不会特别好,所以对2024年并不是很乐观,觉得能够维持住2023年的营收,就不错了。


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事实上,对ASML而言,更大的麻烦,还在后头,因为当NA提升至0.55后,数值孔径,可能就达到极限,无法再提升了。


至于其它提高EUV光刻机分辨率的方向,比如降低光源波长,提高光刻工艺因子等,基本上都达到了极限,短时间之内无法提升了。


所以在去年,主管技术的ASML的联席CEO表示,接下来ASML的EUV光刻机,很难再有进步了,NA=0.55的这种EUV光刻机,或许是最后一代,他于2024年也要退休了。


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那么,一旦EUV光刻机,无法再更新换代,ASML就陷入了“末日狂欢”之中了,也许眼前还能大卖,但未来呢?


当然,也有人觉得,或许EUV光刻机还能够前进,只是目前还没看到方向而已,但这种看不到方向,是企业的最大不确定性,没有确定性就没有未来,企业怎么办呢?



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