2021年6月20日上午，临港新片区隆重举行第二季度建设工程集中开工仪式，共计12个项目于各项目会场集中开工。
中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”）临港产业化基地项目开工仪式在项目现场举行。上海市委常委、临港新片区党工委书记、管委会常务副主任朱芝松、临港新片区管委会副主任吴晓华、上海市经济和信息化委员会副主任傅新华、上海市科学技术委员会二级巡视员胡睦、上海科创投集团党委书记、总经理沈伟国，以及客户、供应商、投资机构、员工及其他合作企业代表共同出席了中微临港产业化基地项目开工仪式。
中微公司董事长兼总经理尹志尧博士表示：“集成电路产业是临港着重发展的重大核心产业之一，中微公司结合自身的发展规划，响应政府号召，决心到临港落户。中微临港产业化基地项目建成后将大幅提升公司生产规模，能更好地满足产业快速增长的市场需求，这是中微公司发展史上的又一重要里程碑。中微在立足临港、加快自身发展的同时，将充分发挥集成电路设备企业的凝聚力与推动力，协助临港新片区政府推动国内外先进的设备企业、关键材料和零部件厂商落户临港。感谢过去各方对中微公司的大力支持，未来，中微公司将自立自强、团结合作，利用临港新片区集成电路产业集群优势，进一步完善公司的产业链布局，通过创新持续提升公司整体实力，与产业上下游伙伴携手并进、互惠共赢、砥砺前行，助力中国集成电路产业的高速发展。”
上海市委常委、临港新片区党工委书记、管委会常务副主任朱芝松在致辞中表示：“中微公司落户临港将助推临港新片区加快实现全国最先进工艺制程、最齐全装备材料、最活力设计企业、最开放创新平台的‘全国五大之最’目标，同时中微也必将在新片区集成电路产业大飞跃中实现技术更快迭代升级、市场更大程度拓展，迎来更大、更快发展，加快成为国际领先的微观加工设备公司。管委会对中微临港产业化基地项目开工表示衷心祝贺，希望中微临港产业化基地项目早日建成投产，越办越好。
中微临港产业化基地项目规划总建筑面积约18万平方米，项目基础建设总投资约15亿元。项目建成后将满足集成电路、泛半导体设备的研发、测试和产业化需求。中微临港产业化基地计划于2022年底建成并投入使用。
