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晶瑞电材又购得光刻机 KrF光刻胶量产导入已排上日程
2021-12-09 来源:网络整理
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关键词:晶瑞电材光刻机KrF光刻胶

12月8日,晶瑞电材对外披露,公司近期已购得KrF光刻机一台,可用于KrF光刻胶的曝光测试,同时公司KrF光刻胶量产化生产线正在积极建设中。此前,晶瑞电材已经购得用于负胶、g线、i线、ArF等4台光刻机,再加之此次购得的KrF光刻机,晶瑞电材已经到位5台光刻机。

目前,晶瑞电材KrF光刻胶已经完成中试,进入了客户测试验证阶段。这意味着,此次晶瑞电材新购得深紫外线KrF光刻机后,可以快速投建其KrF光刻胶产线,加速其KrF光刻胶量产化进程,也是其KrF光刻胶量产并导入晶圆厂的最后一步。



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