2月23日，中微公司公告，2021年实现营业收入31.08亿元，同比增长36.72%；归母净利润10.11亿元，同比增长105.49%；基本每股收益1.76元。

对于业绩变动的原因，中微公司表示，主要系：受益于半导体设备市场发展及公司产品竞争优势，2021 年刻蚀设备收入为20.04亿元，较2020年增长约55.44%，毛利率达到44.31%；由于下游市场原因以及本年新签署的Mini-LED MOCVD设备规模订单尚未确认收入，2021年MOCVD设备收入为5.03亿元，较2020年增长约1.53%，但MOCVD 设备的毛利率达到33.77%，较2020年的18.65%有大幅度提升。公司2021年新签订单金额为41.3亿元，较2020年增加约19.6亿元，同比增加约90.5%。

据悉，因实施股权激励计划，公司2021年产生股份支付费用2.15亿元，较2020年的1.24亿元增加约0.91亿元（属于经常性损益）。